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光学轮廓仪/白光干涉仪/MicroXAM-800 Optical Profiler

光学轮廓仪/白光干涉仪/MicroXAM-800 Optical Profiler产品主要特点:250 μm closed loop vertical rangePSI (phase) and VSI mode (vertical)100mm x 100mm manual sample positioning stage (optional 100mm x 100mm motorized stag

  • 品牌:KLA-Tencor / KLA
  • 型号:MicroXAM-800

光学轮廓仪/白光干涉仪/MicroXAM-800 Optical Profiler


MicroXAM-800是一款基于白光干涉仪的光学轮廓仪,采用相位扫描干涉技术(PSI)对纳米级特征进行测量,以及采用垂直扫描干涉技术(VSI)对亚微米至毫米级特征进行测量。 MicroXAM-800的程序设置简单灵活,可以进行单次扫描或多点自动测量,适用于研发和生产环境。

 

产品描述

MicroXAM-800光学轮廓仪是一种非接触式3D表面形貌测量系统。MicroXAM的白光干涉仪可以埃级分辨率对表面进行高分辨率测量。 该系统支持相位和垂直扫描干涉测量,两者都是传统的相干扫描干涉技术(CSI)。MicroXAM进一步扩展了这些技术,它采用SMART Acquire为新手用户简化了程序设置,并且采用z-stitching干涉技术可以对大台阶高度进行高速测量。

MicroXAM测量技术的优势在于测量的垂直分辨率与物镜的数值孔径无关,因而能够在大视野范围内进行高分辨率测量。测量区域可以通过将多个视场拼接为同一个测量结果而进一步增加。 MicroXAM的用户界面创新而简单,适用于从研发到生产的各种工作环境。

 

主要功能

· 针对纳米级到毫米级特征的相位和垂直扫描干涉测量

· SMART Acquire简化了采集模式并采用已知优化的程序设置的测量范围输入

· Z-stitching干涉技术采集模式,可用于单次扫描以及编译多个纵向(z)距离很大的表面

· XY-stitching可以将大于单个视野的连续样本区域拼接成单次扫描

· 使用脚本简化复杂测量和工作流程分析的创建,实现了测量位置、调平、过滤和参数计算的灵活性

· 利用已知最佳技术,从其他探针和光学轮廓仪转移算法

 

 

主要应用

· 台阶高度:纳米级到毫米级的3D台阶高度

· 纹理:3D粗糙度和波纹度

· 形式:3D翘曲和形状

· 边缘滚降:3D边缘轮廓测量

· 缺陷复检:3D缺陷表面形貌

· 

工业应用

· 大学、研究实验室和研究所

· 半导体和化合物半导体

· LED:发光二极管

· 电力设备

· MEMS:微电子机械系统

· 数据存储

· 医疗设备

· 精密表面

· 汽车

· 还有更多:请与我们联系以满足您的要求



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