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D-300 台阶仪/探针式轮廓仪

探针式轮廓仪/台阶仪/Alpha-Step D-300 Stylus ProfilerAlpha-Step D-300探针式轮廓仪能够测量从几纳米到1200微米的2D台阶高度。 D-500还可以在研发和生产环境中支持粗糙度、翘曲度和应力的2D测量。 D-300包括一个手动140毫米平台和先进的光学系统以及加强视频控制。

  • 品牌:美国KLA公司/KLA-Tencor
  • 型号:Alpha-Step D-300

探针式轮廓仪/台阶仪/Alpha-Step D-300 Stylus Profiler

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Alpha-Step D-300探针式轮廓仪/台阶仪能够测量从几纳米到1200微米的2D台阶高度。 D-300型探针式轮廓仪/台阶仪还可以在研发和生产环境中支持粗糙度、翘曲度和应力的2D测量。 D-300包括一个手动140毫米平台和先进的光学系统以及加强视频控制。

产品描述

Alpha-Step D-300探针式轮廓仪(台阶仪)支持台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力的2D测量。 创新的光学杠杆传感器技术提供高分辨率测量,大垂直范围和低触力测量功能。

探针测量技术的一个优点是它是一种直接测量,与材料特性无关。 可调节的触力以及探针的选择都使其可以对各种结构和材料进行精确测量。

通过测量粗糙度和应力,可以对工艺进行量化,确定添加或去除的材料量,以及结构的任何变化。

产品主要特点

台阶高度:几纳米至1000μm

低触力:0.5至15mg

视频:500万像素高分辨率彩色摄像头

梯形失真校正:消除侧视光学系统引起的失真

圆弧校正:消除由于探针的弧形运动引起的误差

紧凑尺寸:占地面积小

主要应用

台阶高度:2D台阶高度

纹理:2D粗糙度和波纹度

形式:2D翘曲和形状

应力:2D薄膜应力

工业应用

大学,研究实验室和研究所

半导体和复合半导体

LED:发光二极管

太阳能

MEMS:微电子机械系统

汽车

医疗设备

还有更多:请与我们联系并探讨您的要求


扫描探针压力: 0.5-15mg

最佳垂直分辨率: 0.38 Å

Z测量重复精度: 5.0 Å 或 0.1%

最大垂直测量范围: 1000um

具有双向扫描测量的功能,方便定位和扫描

最大采样点数120,000

扫描长度:30 mm/150mm(stitching);

扫描速度0.01-0.4mm/s

独特的系统内置避震设计

30多种分析参数

XY手动样品运动台,样品台360度旋转,可调倾斜角度+/-2度

500万像素彩色摄像头 配备Keystone视频校正


电话:

13816692140

传真:

021-55127698

邮箱:

naganano@163.com

地址:

上海市虹口区天宝路578号703室