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P-7 台阶仪/探针式轮廓仪

P-7支持从几纳米到一毫米的台阶高度测量,适用于生产和研发环境。该系统可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量,其扫描可达150mm而无需图像拼接。

  • 品牌:KLA-Tencor / KLA
  • 型号:P-7

探针式轮廓仪 / 台阶仪 / P-7 Stylus Profiler

P-7支持从几纳米到一毫米的台阶高度测量,适用于生产和研发环境。该系统可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量,其扫描可达150mm而无需图像拼接。

产品描述

P-7建立在市场领先的P-17台式探针轮廓分析系统的成功基础之上。 它保持了P-17技术的卓越测量性能,并作为台式探针轮廓仪平台提供了极高的性价比。 P-7可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量,其扫描可达150mm而无需图像拼接。

主要功能

台阶高度:几纳米至1000μm

微力恒力控制:0.03至50mg

样品全直径扫描,无需图像拼接

视频:500万像素高分辨率彩色摄像机

圆弧校正:消除由于探针的弧形运动引起的误差

软件:简单易用的软件界面

生产能力:通过测序,模式识别和SECS / GEM实现全自动化

主要应用

台阶高度:2D和3D台阶高度

纹理:2D和3D粗糙度和波纹度

形状:2D和3D翘曲和形状

应力:2D和3D薄膜应力

缺陷复检:2D和3D缺陷表面形貌

工业应用

大学、研究实验室和研究所

半导体和化合物半导体

LED:发光二极管

太阳能

MEMS:微机电系统

数据存储

汽车

医疗设备

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