超大样品兼容性与工业级设计
突破尺寸限制:通过针尖扫描设计结合电动平移台,可无损测量任意尺寸、重量及形状的样品(包括曲面、非平面或超大型工件),解决了传统AFM“放不进、测不准”的工业难题。
高精度扫描头:基于FlexAFM研究级扫描头,配备挠性结构扫描器,提供XY方向100μm扫描范围,线性误差<0.1%,Z向噪音控制<35pm,确保纳米级分辨率。
全自动化与操作便捷性
智能化平移台:XYZ全自动移动控制,支持一键化操作,快速完成各种样品表面的二维和三维形貌测量。
双光学辅助系统:顶视与侧视双500万像素自动对焦摄像头,结合激光自动定位设计,实现更换探针后快速精准定位,无需手动调节激光。
工业环境适应性
防震与稳定性:专为严苛工业环境设计,通过主动式防震结构抵御外界干扰,在半导体车间等场景中验证了长期可靠性。
模块化扩展:支持磁学、电学以及纳米操纵等高级功能。
多功能成像模式
支持静态力/动态力/相对比/磁力/静电力/开尔文探针/压电力等多种模式,兼容液体环境测试,适用于材料电学和力学样本的表征。
24位ADC高速控制处理器
XYZ扫描器范围:100x100x10µm
噪声水平:< 35pm
样品尺寸: 8寸
移动范围:130mmx130mmx30mm
采样点:8000x8000
功能与选件:
相位
纳米压痕
静电力
开尔文
压电力
磁力
真空吸附
环境控制