Proflim 3D是一款基于白光干涉仪的光学轮廓仪，采用相位扫描干涉技术（PSI）对纳米级特征进行测量，以及采用垂直扫描干涉技术（VSI）对亚微米至毫米级特征进行测量。 Proflim 3D的程序设置简单灵活，可以进行单次扫描或多点自动测量，适用于研发和生产环境。
产品描述
Proflim 3D光学轮廓仪是一种非接触式3D表面形貌测量系统。Proflim 3D白光干涉仪可以埃级分辨率对表面进行高分辨率测量。 该系统支持相位和垂直扫描干涉测量，两者都是传统的相干扫描干涉技术（CSI）。Proflim 3D进一步扩展了这些技术，它为新手用户简化了程序设置，并且采用最新的干涉技术可以对大台阶高度进行高速测量。
Proflim 3D测量技术的优势在于测量的垂直分辨率与物镜的数值孔径无关，因而能够在大视野范围内进行高分辨率测量。测量区域可以通过将多个视场拼接为同一个测量结果而进一步增加。 Proflim 3D的用户界面创新而简单，适用于从研发到生产的各种工作环境。
核心性能：覆盖全场景的测量能力
超宽垂直量程与超高精度
纳米至毫米级覆盖：VSI模式支持50 nm–100 mm的台阶高度测量（如金属镀层、光刻胶阶梯），PSI模式则实现0–3 μm范围的0.1 nm分辨率，适用于超光滑光学表面。
重复性卓越：PSI模式下RMS重复性达0.1 nm，VSI为1.0 nm，确保工艺稳定性监控的可靠性。
非接触式多功能成像
支持0.05%-100%反射率的各类材料（金属、陶瓷、聚合物、晶圆等）；
可测60°高斜率表面（如菲涅尔透镜），并兼容曲面、柔性薄膜，避免探针式仪器造成的损伤。
TotalFocus™真彩3D成像技术：即使表面高度差超过物镜焦深（如曲面透镜、生物薄膜），仍可生成全聚焦彩色图像，每个像素精准还原样品真实颜色与纹理。
复杂表面自适应：
高效大视野扫描
100×100 mm²或200×200 mm²电动XY样品台（Profilm3D-200型号），结合10倍物镜下2 mm大视场，大幅提升检测效率；
500 μm压电陶瓷Z轴行程与12 μm/s扫描速度，支持高速拼接测量，适用于晶圆、模具等大面积样品。
智能操作：从硬件到软件的革新体验
一键式自动化平台：
集成4孔物镜转塔（5×–100×），配备位置传感器，切换时自动校准；手动±5°倾角平台适配非平面样品。
500万像素数码变焦相机支持1X/2X/4X放大，减少物镜频繁更换需求。
云互联智能软件生态：
Profilm®桌面软件内置47项ISO/ASME/EUR粗糙度参数，支持自动调平、滤波、台阶高度统计及3D体积分析（如轴承比、FFT频域转换）；
ProfilmOnline®云平台实现跨设备（PC/移动端）数据共享与远程分析，加速研发协作。
主要功能
· 针对纳米级到毫米级特征的相位和垂直扫描干涉测量
· SMART Acquire简化了采集模式并采用已知最佳的程序设置的测量范围输入
· Z-stitching干涉技术采集模式，可用于单次扫描以及编译多个纵向(z)距离很大的表面
· XY-stitching可以将大于单个视野的连续样本区域拼接成单次扫描
· 使用脚本简化复杂测量和工作流程分析的创建，实现了测量位置、调平、过滤和参数计算的灵活性
· 利用已知最佳技术，从其他探针和光学轮廓仪转移算法
主要应用
· 台阶高度：纳米级到毫米级的3D台阶高度
· 纹理：3D粗糙度和波纹度
· 形式：3D翘曲和形状
· 边缘滚降：3D边缘轮廓测量
· 缺陷复检：3D缺陷表面形貌
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工业应用
· 大学、研究实验室和研究所
· 半导体和化合物半导体
· LED：发光二极管
· 电力设备
· MEMS：微电子机械系统
· 数据存储
· 医疗设备
· 精密表面
· 汽车
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