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光谱共焦位移传感器原理是什么? 浏览量:66 | 发布时间:2022-08-16

  光谱共焦位移传感器作为一种新型的高精度测量装置,具有非接触、高精度、高稳定性等特点,那么我们作为新型测量数据技术的光谱共焦的原理是什么呢?

  一束白色(或多波长)光通过一个小孔,穿过一个透镜,将不同波长的光聚焦到光轴上,形成一个色散状的彩虹形分布带,照亮样品并将一些反射的光反射回去。(如下图左所示)照射在光轴与物体进行表面没有交点的光经过一个分光系统部件,通过这些小孔照射到光谱分析仪。透镜到被测物体的距离可根据波长计算

  作为一种新型的非接触式高精度测量技术设备,精度分析可以通过达到亚微米级别,比如我们可以直接用来进行测量数据透明物体的厚度,以及发展轮廓、位移、高度、2d3d曲面弧度扫描、不透明物体的厚度测量、振动系统测量、深孔、液位测量、微槽、平面度测量方法等等。

  在手机行业中,如弯盖玻璃检测、手机主板检测、按键尺寸或高度检测、芯片检测、摄像头模块检测、手机摄像头模块检测等。半导体技术行业,芯片控制引脚平整度检测,晶圆深度和厚度可以检测。玻璃厚度、弧度等测量精度要求高的部分产品。

  以上是上海纳嘉仪器有限公司小编对光谱共焦位移传感器原理是什么的见解,希望对您所有帮助。

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