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探针式轮廓仪原理及应用 浏览量:68 | 发布时间:2022-08-23

  探针轮廓仪使用在表面上移动的探针的高度和波动来确定被测表面轮廓。探针式轮廓仪的测量是一种接触式方法,它能够精密的测量薄膜的高度,台阶高度,2D形貌,表面粗糙度等参数。探针式轮廓仪的接触力只有几毫克,因此不会划伤零件表面。

  D-300探针轮廓仪基本测量参数

  ·台阶高度:几纳米至1000μm

  ·低触力:0.5至15mg

  ·视频:500万像素率彩色摄像头

  ·梯形失真校正:消除侧视光学系统引起的失真

  ·圆弧校正:消除由于探针的弧形运动引起的误差

  ·紧凑尺寸:小占地面积的台式探针式轮廓仪

  主要的应用

  ·台阶高度:2D台阶高度

  ·纹理:2D粗糙度和波纹度

  ·形式:2D翘曲和形状

  应用案例

  台阶高度

  D-300探针式轮廓仪可以测量从几个纳米到1000μm的2D台阶高度。Alpha-Step系列具有低触力功能,可以测量如光刻胶的软性材料。

  纹理:粗糙度和波纹度

  D-300测量2D纹理,量化样品的粗糙和波纹度,软件过滤功能可以测量值分离为粗糙度和波纹度部分,并且计算诸如均方根粗糙度之类的参数等。

  外形:翘曲和形状

  D-300可以测量表面的2D形状或翘曲。这包括对晶圆翘曲的测量,比如说在半导体或者化合物半导体器件生产过程中,多层沉积层结构中层间不匹配是导致翘曲产生的主要原因。Alpha-Step还可以量化包括透镜在内的结构高度和曲率半径。

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