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在精密制造与科研检测领域,白光干涉仪是不可或缺的核心设备。它依靠光学干涉原理,实现非接触式的纳米级表面形貌测量,既能捕捉材料表面的微小起伏,也能精准测算薄膜厚度、粗糙度等关键参数,为产品质量把控提供数据支撑。

当前国内白光干涉仪行业正稳步增长,2024年市场规模已达51亿元,同比增长13.33%。行业竞争呈现“国际品牌占高端、国产品牌加速崛起”的格局,德国Bruker、美国ZYGO等国际厂商凭借成熟技术占据高端市场,但产品价格偏高;国内企业则通过技术创新和成本优化快速突围,长三角、珠三角地区已形成完整供应链,核心部件国产化率逐步提升,政策层面也明确要求2025年底前精密测量仪器自主化率超70%,为国产设备发展注入动力。
白光干涉仪的应用场景已渗透多个高精尖领域。在半导体行业,它用于检测硅片表面平整度和微观缺陷,保障芯片制造精度;在光学制造领域,可评估光学元件面形质量,助力高端镜片、显示面板生产;此外,在精密机械、生物医学、新能源、航空航天等领域也发挥重要作用,既能满足实验室的科研需求,也能适配工业产线的批量检测场景。随着5G、人工智能、物联网等技术发展,集成电路、新能源汽车等产业对亚纳米级检测需求激增,进一步推动白光干涉仪向智能化、多功能化方向升级。
在国产厂商中,上海纳嘉仪器有限公司深耕精密测量领域多年,其白光干涉仪凭借扎实的技术实力和贴合市场需求的设计,成为众多企业和科研机构的优选。
纳嘉仪器的白光干涉仪在测量精度与稳定性上表现突出。产品垂直分辨率可达0.1纳米以下,均方根重复性不超过0.01纳米,能精准捕捉原子尺度的表面起伏,满足计量级应用需求。依托精密压电陶瓷驱动的Z轴扫描机构和闭环控制系统,设备可实现纳米级步进扫描,有效消除机械滞后误差,确保测量数据的可靠性,即便在工业车间的振动环境中,也能通过气浮隔振工作台和抗干扰结构保持稳定运行。
非接触式测量设计与广泛的材料适配性,让产品适用场景大幅拓展。设备采用白光干涉原理,测量光束仅照射样品表面,不会对硅片、生物材料、软性薄膜等脆弱或高洁净度样品造成划伤、应力变形,完美适配不同材质的检测需求。无论是金属、陶瓷、玻璃等常规材料,还是低反射率、高粗糙度的特殊工件,都能精准测量,且垂直扫描范围可覆盖从150微米到10毫米以上,既能检测纳米级粗糙度,也能测算毫米级台阶高度,兼顾微观与宏观测量需求。
高效测量与智能化操作能力,契合工业产线与科研高效检测的需求。单次3D形貌数据采集可在数秒至20秒内完成,部分型号扫描速度达100微米/秒,大幅提升检测通量。搭配高精度电动XY样品台,支持自动对焦、物镜切换与视场无缝拼接,可实现最大直径50毫米以上工件的完整测量,拼接效率与准确性显著优化。配套软件内置符合ISO、ASME、GB等国内外标准的300余种2D、3D参数分析模块,能一键生成粗糙度、平整度、体积等量化数据,同时提供清晰的三维形貌渲染图与二维轮廓曲线,直观呈现测量结果,开放的二次开发接口还可适配生产线自动化集成需求。
深耕行业多年,上海纳嘉仪器始终以技术创新贴合市场需求,在核心部件适配、软件算法优化等方面持续发力,既保持了与国际同类产品相当的测量精度,又通过本土化设计控制成本,为国内用户提供高性价比的精密测量解决方案,助力半导体、新能源、航空航天等领域的国产化升级。
13816692140 刘经理
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