台阶仪，也称为探针式轮廓仪，它是一款接触式的用于表面测量的仪器，在材料、物理、微电子、太阳能、LED等多个领域都有着较为广泛的应用。

      第一，台阶仪测量精度高，一般来讲，台阶仪的测量小于1um以内的台阶可以做到小于0.5nm的重复精度；大于1um高度的台阶也可以做到小于0.1%的重复测量精度；

      第二，台阶仪的量程大，一般来讲，台阶仪的量程范围最大可以到1mm，最低可以测量的台阶高度可以到几个纳米，可测量范围广；

      第三，台阶仪还能够作为其它形貌测量技术如原子力显微镜、膜厚仪或椭偏仪的参考，从而可以较好的判断出其他技术是否精准；因为很多时候我们无法判定其仪器的精准性，而台阶仪很好的解决了这个问题；

      第四，因为一般情况下台阶仪探针一般是金刚石材质，硬度都比较大，多数情况下它的测头不会很快就有磨损的状况；台阶仪它比较适合用来对一些硬质的表面以及精密零件的测量，而KLA的台阶仪具备比较低的探针压力，也适合比较软的样品的测量；

      最后，台阶仪还具备薄膜应力测量功能。