一、纳米压痕仪概述

　　纳米压痕仪，又称为纳米压入仪，主要被用在对微纳米尺度薄膜材料的硬度和杨氏模量的测试，通过对力与压入深度的曲线的计算得到其测试结果，不需要通过显微镜观察其压痕的面积。适用于各种检测分析，像有机或者无机材料，软质或者是硬质材料，包括PVD，CVD，PECVD薄膜，彩绘釉漆，微电子镀膜，感光或光学薄膜以及装饰性的薄膜等等。

      纳米压痕技术也称为深度敏感压痕技术，它是测试材料力学性质的最简单的方法之一，在材料科学的各个领域中应用还是比较广泛的。

二、技术特点

1、完全符合ISO14577、ASTME2546；

2、光学显微镜自动观察；

3、拥有其独特的热漂移控制技术；

4、可硬度、刚度、弹性模量、断裂刚度、失效点、应力－应变、蠕变性能等力学数据；

5、适时的测量载荷大小；

6、采用的是独立的载荷加载系统以及分辨率较高的电容深度传感器；

7、快速的压电陶瓷驱动的载荷反馈系统；

8、双标准校正：熔融石英和蓝宝石 。

三、主要应用

      半导体技术（钝化层、镀金属、Bond Pads）；存储材料(磁盘的保护层、磁盘基底上的磁性涂层、CD的保护层)；光学组件(接触镜头、光纤、光学刮擦保护层)；金属蒸镀层；防磨损涂层(TiN, TiC, DLC, 切割工具)；药理学（像：药片，植入材料，生物组织）；工程学（如：油漆涂料，橡胶、触摸屏，MEMS）等行业。